簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="矽膜再結晶成長方向"


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    線上光學檢測技術分析準分子雷射退火鍺膜之參數與矽膜成長機制
    • /95/ 碩士
    • 研究生: 蕭致平 指導教授: 鄭正元
    • 因本實驗室所建立的線上光學檢測系統於準分子雷射退火矽膜所擷取之反射率與穿透率波形,如能利用TEM斷面分析互相驗證,並觀察矽膜退火後之微結構變化將能更確定矽膜的成長機制,也間接肯定其系統的正確性,故本…
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